第1章 引言
1.1 如何定義表面
1.2 表面有多少個原子
1.3 需要的信息
1.4 表面靈敏度
1.5 輻射效應與表面損傷
1.6 數據的復雜性
第2章 俄歇電子能譜
2.1 引言
2.2 俄歇過程的原理
2.2.1 俄歇峰的動能
2.2.2 電離截面
2.2.3 俄歇電子和光子出射的比較
2.2.4 電子背散射
2.2.5 逃逸深度
2.2.6 化學位移
2.3 儀器設備
2.3.1 電子源
2.3.2 譜儀
2.3.3 采集方式
2.3.4 檢測限
2.3.5 儀器校準
2.4 定量分析
2.5 深度剖析
2.5.1 薄膜校準標樣
2.5.2 深度分辨率
2.5.3 濺射速率
2.5.4 擇優濺射
2.5.5 λ-修正
2.5.6 AES剖析中的化學位移
2.6 結論
思考題
第3章 化學分析用電子能譜
3.1 概述
3.1.1 基本ESCA實驗
3.1.2 光電效應和ESCA的歷史
3.1.3 ESCA提供的信息
3.2 X射線與物質的相互作用、光電效應和固體的光電發射
3.3 結合能和化學位移
3.3.1 Koopmans定理
3.3.2 初態效應
3.3.3 終態效應
3.3.4 結合能參考基準
3.3.5 絕緣體的電荷補償
3.3.6 峰寬
3.3.7 峰擬合
3.4 非彈性平均自由程和采樣深度
3.5 定量
3.5.1 定量方法
3.5.2 定量標準
3.5.3 定量實例
3.6 譜圖特征
3.7 儀器
3.7.1 ESCA實驗的真空系統
3.7.2 X射線源
3.7.3 分析器
3.7.4 數據系統
3.7.5 附件
3.8 譜圖質量
3.9 深度剖析
3.10 X-Y分布和成像
3.11 化學衍生法
3.12 價帶
3.13 展望
……
第4章 SIMS的分子表面質譜
第5章 動態SIMS
第6章 低能離子散射和盧瑟福背散射
第7章 表面振動光譜
第8章 基于干涉技術的表面結構確定
第9章 掃描探針顯微鏡
第10章 多變量數據分析技術在表面分析中的應用
附錄1 應用表面科學真空技術
附錄2 單位、基本物理常數和換算