第1章 概述1.1 行波管概述1.2 行波管主要高頻結(jié)構(gòu)1.3 行波管的發(fā)展趨勢1.4 折疊波導(dǎo)高頻結(jié)構(gòu)的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀參考文獻第2章 折疊波導(dǎo)高頻結(jié)構(gòu)制備方法2.1 折疊波導(dǎo)制備的難點2.2 折疊波導(dǎo)制備的方法2.2.1 MEMS技術(shù)2.2.2 超精密電火花線切割制造技術(shù)2.2.3 LIGA技術(shù)2.2.4 UV-LIGA技術(shù)第1章 概述1.1 行波管概述1.2 行波管主要高頻結(jié)構(gòu)1.3 行波管的發(fā)展趨勢1.4 折疊波導(dǎo)高頻結(jié)構(gòu)的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀參考文獻第2章 折疊波導(dǎo)高頻結(jié)構(gòu)制備方法2.1 折疊波導(dǎo)制備的難點2.2 折疊波導(dǎo)制備的方法2.2.1 MEMS技術(shù)2.2.2 超精密電火花線切割制造技術(shù)2.2.3 LIGA技術(shù)2.2.4 UV-LIGA技術(shù)2.2.5 DRIE技術(shù)2.3 微細制造方法的應(yīng)用參考文獻第3章 折疊波導(dǎo)高頻結(jié)構(gòu)微細制造方案3.1 W波段0.1 THz折疊波導(dǎo)高頻結(jié)構(gòu)3.1.1 超精密電火花線切割技術(shù)制造方案設(shè)計3.1.2 LIGA技術(shù)制造方案設(shè)計3.2 LIGA技術(shù)制造J波段0.3THz折疊波導(dǎo)方案3.3 G波段0.22THz折疊波導(dǎo)以及集成級聯(lián)結(jié)構(gòu)微細制造3.3.1 UV-LIGA技術(shù)制造折疊波導(dǎo)方案設(shè)計3.3.2 UV-LIGA技術(shù)制造集成級聯(lián)折疊波導(dǎo)方案設(shè)計3.4 DRIE技術(shù)制造1.03THz折疊波導(dǎo)方案參考文獻第4章 折疊波導(dǎo)制備的關(guān)鍵工藝技術(shù)4.1 超精密電火花線切割工藝的關(guān)鍵技術(shù)4.1.1 電子注通道細長孔的制備4.1.2 防止切割變形4.2 LIGA工藝的關(guān)鍵技術(shù)4.2.1 LIGA工藝的掩膜制備4.2.2 嵌絲PMMA光刻膠制備4.3 UV-LIGA工藝的關(guān)鍵技術(shù)4.3.1 SU8厚膠制備4.3.2 深度電鑄4.4 DRIE工藝的關(guān)鍵技術(shù)4.4.1 掩膜版設(shè)計4.4.2 準備DSOI硅片4.4.3 干法深刻蝕4.4.4 表面處理參考文獻第5章 折疊波導(dǎo)制備工藝實驗研究5.1 W波段0.1THz折疊波導(dǎo)制備5.1.1 Ultra-fineWEDM工藝5.1.2 LIGA工藝5.2 LIGA工藝制備J波段0.3THz折疊波導(dǎo)5.3 UV-LIGA工藝制備G波段0.22THz折疊波導(dǎo)5.4 DRIE工藝制備1.03THz折疊波導(dǎo)參考文獻第6章 折疊波導(dǎo)制備工藝實施結(jié)果分析6.1 精度檢測6.2 成分分析6.3 金相分析參考文獻