1 緒論
1.1 研究背景
1.2 研究內(nèi)容及意義
1.3 章節(jié)安排
2 阻尼膠減振技術(shù)
2.1 阻尼膠概述
2.2 固態(tài)阻尼膠
2.2.1 固態(tài)阻尼膠分類
2.2.2 固態(tài)阻尼膠應(yīng)用
2.3 液態(tài)阻尼膠
2.3.1 液態(tài)阻尼膠分類
2.3.2 液態(tài)阻尼膠特點(diǎn)
2.3.3 液態(tài)阻尼膠應(yīng)用
2.4 噴涂膠槍
2.4.1 膠槍分類
2.4.2 手動混合膠槍
2.4.3 噴涂膠槍
2.5 膠槍膜片
2.6 本章小結(jié)
3 硬質(zhì)反應(yīng)鍍膜技術(shù)
3.1 硬質(zhì)反應(yīng)膜簡述
3.2 硬質(zhì)反應(yīng)膜發(fā)展
3.2.1 單一金屬硬質(zhì)反應(yīng)膜
3.2.2 多元硬質(zhì)反應(yīng)膜
3.2.3 多層梯度硬質(zhì)復(fù)合膜
3.3 本章小結(jié)
4 真空鍍膜技術(shù)
4.1 真空鍍膜技術(shù)概述
4.2 真空鍍膜技術(shù)特點(diǎn)
4.3 真空鍍膜技術(shù)分類
4.3.1 真空蒸發(fā)鍍技術(shù)
4.3.2 真空濺射鍍技術(shù)
4.3.3 真空離子鍍技術(shù)
4.3.4 束流沉積技術(shù)
4.3.5 化學(xué)氣相沉積技術(shù)
4.4 真空鍍膜技術(shù)應(yīng)用
4.5 多弧離子鍍技術(shù)概述
4.5.1 離子鍍技術(shù)發(fā)展
4.5.2 多弧離子鍍技術(shù)特點(diǎn)
4.5.3 多弧離子鍍技術(shù)原理
4.6 本章小結(jié)
5 膜片基體制備工藝
5.1 膜片基體選取
5.2 制備工藝
5.2.1 膜片外形尺寸
5.2.2 膜片基體加工工藝
5.3 膜片基體分析
5.3.1 硬度分析
5.3.2 輪廓尺寸分析
5.4 本章小結(jié)
6 膜片表面鍍膜工藝
6.1 實(shí)驗(yàn)設(shè)備與材料
6.1.1 實(shí)驗(yàn)設(shè)備
6.1.2 基材選擇與預(yù)處理
6.1.3 靶材選擇
6.2 鍍膜工藝參數(shù)
6.2.1 基體負(fù)偏壓
6.2.2 氣體分壓
6.2.3 弧電流強(qiáng)度
6.2.4 本底真空度
6.2.5 試樣溫度
6.2.6 試樣轉(zhuǎn)速
6.2.7 沉積時(shí)間
6.3 薄膜表征方法
6.3.1 薄膜成分分析
6.3.2 薄膜相結(jié)構(gòu)分析
6.3.3 薄膜硬度測試
6.3.4 膜/基結(jié)合力測試
6.3.5 薄膜耐磨性能
6.4 本章小結(jié)
7 膜片鍍（Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜
7.1 （Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜制備工藝
7.2 （Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜形貌
7.2.1 （Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜表面形貌
7.2.2 （Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜斷口形貌
7.3 （Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜成分
7.4 （Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜相結(jié)構(gòu)
7.5 （Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜硬度
7.6 （Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜/基結(jié)合力
7.7 （Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜耐磨性
7.7.1 （Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜摩擦系數(shù)
7.7.2 （Ti，Al，Zr，Nb）N單層膜磨損形貌
7.8 本章小結(jié)
8 膜片鍍（Ti，Al，Nb）N/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜
8.1 （Ti，Al，Nb）N/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜制備工藝
8.2 （Ti，Al，Nb）N/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜形貌
8.2.1 （Tj，Al，Nb）N/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜表面形貌
8.2.2 （Ti，Al，Nb）N/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜斷口形貌
8.3 （Ti，Al，Nb）N/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜表層成分
8.4 （Ti，Al，Nb）N/（rri，Al，Zr，Nb）N雙層膜相結(jié)構(gòu)
8.5 （Ti，Al，Nb）N/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜硬度
8.6 （Ti，Al，Nb）N/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜/基結(jié)合力
8.7 （Ti，Al，Nb）N/（rri，Al，Zr，Nb）N雙層膜耐磨性
8.7.1 （Ti，Al，Nb）N/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜摩擦系數(shù)
8.7.2 （Ti，Al，Nb）N/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜磨損形貌
8.8 本章小結(jié)
9 膜片鍍NbN/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜
9.1 NbN/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜制備工藝
9.2 NbN/（rri，Al，Zr，Nb）N雙層膜形貌
9.2.1 NbN/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜表面形貌
9.2.2 NbN/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜斷口形貌
9.3 NbN/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜表層成分
9.4 NbN/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜相結(jié)構(gòu)
9.5 NbN/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜硬度
9.6 NbN/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜/基結(jié)合力
9.7 NbN/（Ti.Al，Zr，Nb）N雙層膜耐磨性
9.7.1 NbN/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜摩擦系數(shù)
9.7.2 NbN/（Ti，Al，Zr，Nb）N雙層膜磨損形貌
9.8 本章小結(jié)
10 膜片鍍TiAlZrNb/（Ti，Al，Zr，Nb）N梯度膜
10.1 TiAlZrNb/（Ti，Al，Zr，Nb）N梯度膜制備工藝
10.2 TiAlZrNb/（Ti，Al，Zr，Nb）N梯度膜形貌
10.2.1 TiAlZrNb/（Ti，Al，Zr，Nb）N梯度膜表面形貌
10.2.2 TiAlZrNb/（Ti，Al，Zr，Nb）N梯度膜斷口形貌
10.3 TiAlZrNb/（Ti，Al，Zr，Nb）N梯度膜表層成分
10.4 TiAlZrNb/（Ti，Al，Zr，Nb）N梯度膜相結(jié)構(gòu)
10.5 TiAlZrNb/（Ti，Al，Zr，Nb）N梯度膜硬度
10.6 TiAlZrNb/（Ti，Al，Zr，Nb）N梯度膜/基結(jié)合力
10.7 TiAlZrNb/（Ti，Al，Zr，Nb）N梯度膜耐磨性
10.7.1 TiAlZrNb/（Ti，Al，Zr，Nb）N梯度膜摩擦系數(shù)
10.7.2 TiAlZrNb/（Ti，