第1章　引言
　1.1 微機電系統
　1.2 耦合系統
　1.3 所需知識
　1.4 量綱分析
　習題
第2章　微制造
　2.1 體微加工和表面微加工
　2.2 光刻
　2.3 層沉積工藝
　2.4 刻蝕法
　2.5 制造工藝設計
　習題
第3章　靜力學
　3.1 靜力平衡
　3.2 壓-張關系
　3.3 熱應力
　3.4 扭轉力矩作用下梁的性能
　3.5 力矩-曲率之間的關系
　3.6 梁方程
　3.7 加勒金法
　3.8 能量法
　3.9 梁問題的能量方法
　習題
第4章　微結構的靜力性能
　4.1 微結構的元件
　4.2 通用梁的剛度
　4.3 桿系
　4.4 剛度變換
　4.5 平面結構的靜力性能
　4.6 殘余應力
　4.7 結構的立方力
　4.8 勢能
　4.9 勢能間的相似性
　習題
第5章　動力學
　5.1 三次方程
　5.2 運動的描述
　5.3 動態支配方程
　5.4 勢能和動能之間的能量轉換
　5.5 無阻尼自由振動系統
　5.6 阻尼系統的振動
　5.7 多自由度系統
　5.8 連續系統
　5.9 有效質量、阻尼和剛度
　5.10 具有重復結構的系統
　5.11 達芬方程
　習題
第6章　流體動力學
　6.1 黏性流
　6.2 連續方程
　6.3 納維-斯托克斯方程
　6.4 雷諾方程
　6.5 庫埃特流動
　6.6 流體中的振動板
　6.7 蠕動流
　6.8 擠壓膜
　習題
第7章　電磁學
　7.1 電路的基本元件
　7.2 基爾霍夫電流定律
　7.3 靜電學
　7.4 由電場產生的力和力矩
　7.5 作用于各種物體的靜電力和力矩
　7.6 電磁力
　7.7 作用在電場和磁場中運動電荷上的力
　7.8 壓阻
　7.9 壓電性
　習題
第8章　壓電和熱力驅動器
　8.1 組合梁
　8.2 壓電驅動器
　8.3 熱力驅動器
　習題
第9章　靜電驅動器和電磁驅動器
　9.1 電磁驅動器
　9.2 梳驅動的驅動器
　9.3 平行板驅動器
　9.4 扭轉驅動器
　9.5 兩端固定梁驅動器
　9.6 懸梁驅動器
　9.7 間隙接近驅動器的動態響應
　9.8 間隙接近驅動器的近似
　9.9 電磁驅動器
　習題
第10章　傳感器
　10.1 力和壓力傳感器
　10.2 加速度計
　10.3 靜電加速度計
　10.4 振動陀螺儀
　10.5 其他結構
　習題
附錄
參考文獻